一种气体分布板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种气体分布板及其制作方法，将气体分布板设置为上层板和下层板，设置上下相匹配的凸起板和凹槽，并使得所述凸起板的尺寸略小于所述凹槽的尺寸，确保上层板和下层板嵌合时凸起板侧壁和气体挡板侧壁之间，气体挡板和气体通孔末端之间分别保留一狭小的缝隙，作为反应气体注入等离子体反应腔的气体通道。简化了气体分布板的制作难度，提高了气体通道的致密度，从而提高了反应气体注入等离子体反应腔内的均匀度，满足了刻蚀空间减小和气流增大的发展趋势对气体均匀分布的要求。

主权项

一种气体分布板，其特征在于：所述分布板包括上层板和下层板，所述上层板包括若干气体通孔和环绕所述气体通孔设置的凸起板，所述下层板包括凹槽和气体挡板；所述上层板和所述下层板固定连接，所述上层板的凸起板嵌入所述下层板的凹槽内，所述下层板的气体挡板位于所述气体通孔末端下方，并与所述气体通孔末端设置第一气体通道，所述气体挡板与所述上层板的凸起板侧壁设置第二气体通道，所述第一气体通道和所述第二气体通道气体联通。