光学元件及其制造方法、光学系统、成像装置、光学仪器和母盘

摘要

该光学元件设置有元件主体以及布置在元件主体的表面上的多个亚波长结构。亚波长结构包括能量射线固化性树脂组合物。元件主体对于用于固化能量射线固化性树脂组合物的能量射线具有不透明性。其上布置有多个亚波长结构的表面具有用于散射入射光以产生散射光的区域，并且散射光的强度分布具有各向异性。

主权项

一种光学元件，包括：元件主体；以及多个亚波长结构，设置在所述元件主体的表面上，其中，所述亚波长结构包括能量射线固化性树脂组合物，其中，所述元件主体对于用于固化所述能量射线固化性树脂组合物的能量射线是不透明的，其中，其上设置有所述多个亚波长结构的表面具有其中通过散射入射光来产生散射光的区域，并且其中，所述散射光的强度分布是各向异性的。