一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置

摘要

本实用新型公开了一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的两端分别通过电擦机构和绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。本实用新型的工作可靠性高，制造成本低，且方便安装和维护。

主权项

一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于：包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的一端通过电擦机构与盖板连接，所述靶芯机构的另一端通过绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。