| 发明名称 |
一种WO<sub>3</sub>-ZnO复合靶材及其制备方法 |
| 摘要 |
本发明公开了一种WO<sub>3</sub>-ZnO复合靶材的制备方法。其特征是采用低成本的常压烧结工艺，不使用任何烧结助剂的条件下，制备出纯度高于99.9％，相对密度大于95％，抗弯强度大于60Mpa的WO<sub>3</sub>-ZnO复合靶材，该靶材特别适合用于制备WO<sub>3</sub>-ZnO复合薄膜，在光催化净化，气体传感，光电转换等领域有广泛的应用。 |
| 申请公布号 |
CN104177081A |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
| 申请号 |
CN201310213526.3 |
申请日期 |
2013.05.28 |
| 申请人 |
深圳大学;株洲硬质合金集团有限公司 |
发明人 |
杨海涛;张忠健;尚福亮;傅崇伟;高玲;赵声志;刘存奇;饶承毅 |
| 分类号 |
C04B35/453(2006.01)I;C04B35/495(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/453(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种致密的WO<sub>3</sub>‑ZnO复合陶瓷靶材，其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化，相对密度在95％以上。 |
| 地址 |
518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |
