| 发明名称 | 悬挂式双面外延生长装置 | ||
| 摘要 | 一种悬挂式双面外延生长装置，包括：一悬挂式片架，该悬挂式片架包括：三个立柱，每一立柱上开有凹槽，每个立柱上的凹槽有一个或多个，三个立柱相同高度位置的凹槽构成一组；其中将三个立柱等距竖立排列，使三个立柱分别位于一等边三角形三个顶点处，将一衬底插入到立柱的凹槽内，使衬底悬挂于片架上，形成双面悬空的效果。本发明能够为单片直径达六至八英寸、单次同时双面外延制备提供装置及方法支持，既可以避免外延材料翘曲，又可以提高外延生产效率、提高气体利用率、降低能耗等。 | ||
| 申请公布号 | CN104178806A | 申请公布日期 | 2014.12.03 |
| 申请号 | CN201410412073.1 | 申请日期 | 2014.08.20 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 刘兴昉;刘斌;闫果果;王雷;赵万顺;张峰;孙国胜;曾一平 |
| 分类号 | C30B25/12(2006.01)I;C30B25/08(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
| 主权项 | 一种悬挂式双面外延生长装置，包括：一悬挂式片架，该悬挂式片架包括：三个立柱，每一立柱上开有凹槽，每个立柱上的凹槽有一个或多个，三个立柱相同高度位置的凹槽构成一组；其中将三个立柱等距竖立排列，使三个立柱分别位于一等边三角形三个顶点处，将一衬底插入到立柱的凹槽内，使衬底悬挂于片架上，形成双面悬空的效果。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||