形状测量方法

摘要

本发明涉及形状测量方法，在该形状测量方法中精确地执行在基于具有多个周期性的设计段差的设计形状形成的待测量表面的测量的数据与设计形状之间的拟合。根据待测量表面的测量的点序列来指定段差区域和段差高度(S3)。将点序列移动了段差高度(S4)。换句话说，执行用于消除段差的处理，并且获得没有段差的拟合对象数据(S5)。另一方面，从设计形状获得没有多个设计段差的参考形状(S6和S7)。通过最小二乘法等执行在拟合对象数据与参考形状之间的拟合(S8)。

主权项

一种形状测量方法，用于通过使用探头扫描来测量基于具有多个周期性的设计段差的设计形状形成的待测量表面，所述形状测量方法包括：测量步骤，利用所述探头扫描所述待测量表面以便获得多个测量点；段差指定步骤，根据所述多个测量点指定在所述待测量表面上的分别存在多个段差的多个段差区域以及所述多个段差中的每一个段差的高度；对象数据产生步骤，在所述多个段差区域外的多个无段差区域之中，将在所述多个段差区域中的各个段差区域两侧彼此相邻的一对无段差区域中的一个无段差区域的多个测量点移动所述多个段差中的对应的段差的高度，从而将所述一对无段差区域中的所述一个无段差区域中的多个测量点的高度调整到所述一对无段差区域中的另一个无段差区域中的多个测量点的高度，以便由此获得拟合对象数据；参考形状获得步骤，根据所述设计形状获得没有多个设计段差的参考形状；以及拟合步骤，执行拟合使得所述拟合对象数据与所述参考形状之间的差变为最小，其中通过在拟合之后利用计算在拟合的对象数据与所述参考形状之间的差来确定残差，来测量所述待测量表面的形状。