铕镝共掺杂稀土硼铟酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件

摘要

本发明属于光电材料领域，其公开了一种铕镝共掺杂稀土硼铟酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件；该发光薄膜的其化学通式为:RIn₃(BO₃)₄:xEu³⁺,zDy³⁺；其中，RIn₃(BO₃)₄是基质，Eu³⁺和Dy³⁺是激活光离子，为发光薄膜的发光中心，R选自Y,La,Gd或Lu元素，x的取值范围为0.01～0.05，z的取值范围为0.01～0.08。铕镝共掺杂稀土硼铟酸盐的发光薄膜，其电致发光谱（EL）中，在520nm和610nm位置有很强的发光峰。

主权项

一种铕镝共掺杂稀土硼铟酸盐的发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤:陶瓷靶材的制备:分别称取R₂O₃，In₂O₃，B₂O₃，EuO₂和Dy₄O₇粉体，均匀混合后，在900～1300℃下烧结，制得陶瓷靶材，其中，R₂O₃，In₂O₃，B₂O₃，EuO₂和Dy₄O₇的摩尔比为0.5:1.5:2:x:0.25z；将制得的陶瓷靶材和ITO玻璃衬底装入镀膜设备的腔体中，密封腔体后，对腔体进行抽真空处理，控制腔体真空度为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；设置镀膜工艺参数:设置基靶间距为45～95mm，衬底温度为250℃～750℃，镀膜激光的能量为80～300W，过程中通入流量为10～40sccm的氧气，工作压强为0.5～5Pa；待工艺参数设置完成后，进行镀膜处理；随后在ITO玻璃衬底的ITO层表面制得铕镝共掺杂稀土硼铟酸盐的发光薄膜，该发光薄膜的其化学通式为:RIn₃(BO₃)₄:xEu³⁺,zDy³⁺；其中，:RIn₃(BO₃)₄是基质，Eu³⁺和Dy³⁺激活光离子，为发光薄膜的发光中心，R选自Y,La,Gd或Lu元素，x的取值范围为0.01～0.05，z的取值范围为0.01～0.08。