发明名称 CHILLER FOR CANISTER
摘要 상부가 개방된 함체형상의 트레이; 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및 상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러가 개시되며, 이에 의하여 트레이 표면에 결로가 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
申请公布号 KR101466484(B1) 申请公布日期 2014.12.02
申请号 KR20130053345 申请日期 2013.05.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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