| 摘要 |
<p>디스크 형상의 압전체 및 한 쌍의 구동 전극을 포함하고, AC 전압이 상기 한 쌍의 구동 전극에 인가되면 상기 압전체의 반경 방향으로 진동하는 진동체, 상기 진동체의 일측의 면에 접촉하게 되는 기판, 상기 진동체의 다른쪽 측의 면에 접촉하게 되도록 배치되는 탄성 부재, 및 접촉부 및 상기 중공 관통 홀에 헐겁게 끼워지는 헐거운 끼움부를 포함하는 유지 부재를 포함하는 압전 진동형 힘 센서가 제공된다. 유지 부재는, 진동 방향과 진동 방향에 직교하는 방향으로의 진동체의 이동이 위치 결정을 위해 억제되도록 접촉부 및 헐거운 끼움부를 고정한다.</p> |
