标的装置的基底预测保养方法与其电脑程式产品

摘要

一种标的装置(TD)的基底预测保养方法与其电脑程式产品。首先，收集此标的装置刚进行维修保养后所产生之复数个新鲜样本。接着，收集标的装置生产新工件所产生之一新工件样本。使用建模样本并根据一推估演算法来建立一TD基底模型，其中建模样本包含有上述之复数个新鲜样本和刚收集的新工件样本。然后，由TD基底模型来计算出新工件之TD健康基底值(　)，并计算出装置健康指数(DHI)、基底误差指数(BEI)、及基底个体相似度指标(ISIB)，藉以达到错误侦测及诊断(FDC)和预测保养(PdM)的目标。

主权项

一种标的装置的基底预测保养方法，包含：收集一标的装置(Target Device；TD)刚进行一维修保养后生产复数个工件时所产生之复数个新鲜样本；收集该标的装置生产一新工件时所产生的一新工件样本，其中该些新鲜样本和该新工件样本其中每一者包含由一组TD相关制程参数资料(X)和该标的装置所产生之一实际代表值(yT)所组成的成对资料，该组TD相关制程参数资料(X)包含复数个参数；使用复数个建模样本并根据一推估演算法来建立一TD基底模型，其中该些建模样本包含该些新鲜样本和该新工件样本；由该TD基底模型来计算出生产该新工件之该标的装置的一健康基底值()，其中该健康基底值为该标的装置(TD)处于健康状态时应有之健康的实际代表值(yT)的推估值。