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发明名称 MEMBRANES FOR USE WITHIN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH A MEMBRANE.
摘要
申请公布号 NL2013557(A) 申请公布日期 2014.12.01
申请号 NL20142013557 申请日期 2014.10.02
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 NIKIPELOV ANDREY;BOOGAARD ARJEN;KUZNETSOV ALEXEY;YAKUNIN ANDREI
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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