含有氧化物薄膜电晶体的平板显示装置及其制造方法;FLAT PANEL DISPLAY DEVICE WITH OXIDE THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

揭露一种含有氧化物薄膜电晶体的平板显示装置，包括：缓冲薄膜，形成在基板上；氧化物半导体层，具有第一长度的宽度，且形成在缓冲薄膜上；闸极绝缘薄膜，具有第二长度的宽度，且形成在氧化物半导体层上；闸电极，具有第三长度的宽度，且形成在闸极绝缘薄膜上；层间绝缘薄膜，形成在提供有闸电极的基板的整个表面上；源电极和汲电极，形成在层间绝缘薄膜上，并连接至氧化物半导体层；钝化薄膜，形成在提供有源电极和汲电极的基板的整个表面上；及像素电极，形成在钝化薄膜上，并连接至汲电极。第一长度大于第二长度，且第二长度大于第三长度。