智慧型弱点图形诊断方法、系统与电脑可读取记忆媒体;METHOD AND SYSTEM FOR INTELLIGENT WEAK PATTERN DIAGNOSIS, AND NON-TRANSITORY COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM

摘要

说明书揭示一种智慧型弱点图形诊断方法、系统与电脑可读取记忆媒体。在方法之实施例中，首先从缺陷图形库与高失败频率的缺陷图形库取得弱点图形布局，并藉由晶圆缺陷检测工具取得缺陷资料，配合设计布局的取得与执行弱点缺陷图形筛选，可以取得已知或未知的弱点缺陷图形，除了更新弱点图形库外，更能在电子显微镜实际取得的晶圆影像上取得弱点图形轮廓，以利得到真实的系统性弱点图形。