毫秒退火（ＤＳＡ）之边缘保护

摘要

本发明提供一种对一基板进行热处理之方法与设备。基板系设置在一处理腔室中，而处理腔室系配置以藉由将电磁能导引朝向基板的表面而进行热处理。提供有一能量阻挡器以阻挡导引朝向基板之能量的至少一部分。阻挡器预防了当入射能量接近基板边缘时所产生的热应力对基板的伤害。

主权项

一种用于在一处理腔室中处理一基板的设备，包括：一基板支撑件，系配置以定位一基板以进行处理；一能量来源，系配置以将一电磁能导引朝向该基板支撑件；以及一或多个能量阻挡器，在该基板之一中央部分暴露于该电磁能之同时，该一或多个能量阻挡器系配置以阻挡至少一部分的该电磁能到达该基板的一周围部分，其中该些能量阻挡器的至少其中之一者为一阴影环(shadow ring)。