| 摘要 |
<p>본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다중 이온원을 사용하는 중성입자빔의 스펙트럼 해석을 가능하게 하기 위한 방법 및 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 위와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면 다중 이온원을 사용하는 중성 입자빔의 스펙트럼 해석을 가능하게 하기 위한 시스템이 개시된다. 상기 시스템은 측정된 스펙트럼의 일부를 이용하여 분산 관계식을 유도하여 스펙트럼의 파장을 보정하는 보간 연산부를 포함할 수 있다.</p> |
