图案化器件、于一基板上产生一标记之方法及器件制作方法;PATTERNING DEVICE, METHOD OF PRODUCING A MARKER ON A SUBSTRATE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

摘要

本发明提供一种用于藉由光学投影而在一基板上形成一标记之图案化器件，该图案化器件包含一标记图案，该标记图案具有为周期性之一密度剖面，该密度剖面具有对应于该待形成标记之一所要周期性之一基本空间频率。相对于具有该基本频率之一简单二元剖面，该密度剖面经调变(诸如，正弦式地)以便抑制该基本频率之一或多个谐波。