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发明名称
曝光机曝光路径的检测方法及应用其之曝光方法
摘要
一种曝光机曝光路径的检测方法及应用其之曝光方法,其可提升曝光机曝光的准确度,本发明主要利用处理单元、直线移动距离量测单元、影像撷取单元及标准基板,标准基板设有具有复数标记的标记组,该等标记沿直线方向间隔排列,影像撷取单元与标准基板沿直线方向相对移动,以使处理单元产生该等标记的量测位置组,之后使感光电路板与曝光装置沿直线方向相对移动,并使曝光装置依照该等量测位置组对感光电路板曝光。藉此,本发明可提升曝光机曝光的准确度进而提升电路板的制造良率。
申请公布号
TW201445259
申请公布日期
2014.12.01
申请号
TW102117315
申请日期
2013.05.16
申请人
川宝科技股份有限公司
发明人
张鸿明
分类号
G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
<name>赖安国</name><name>王立成</name>
主权项
地址
桃园县芦竹市内溪路39巷46弄6号
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