晶圆通用提篮装置

摘要

一种晶圆通用提篮装置，包括提篮及载盘。提篮包含两侧板及两支撑架，两侧板各设有夹取部，两支撑架分置于上、下两层，两支撑架各具有两连接杆及连接于两连接杆之间的一间隔杆，连接杆的两端分别连接于两侧板。载盘的底部设有两凹沟，载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，载盘置于支撑架上，载盘底部的凹沟与支撑架的连接杆卡接配合。藉此，可通过载盘的拆换，而通用于2寸、4寸或6寸等规格之晶圆匣。

主权项

一种晶圆通用提篮装置，包括：一提篮，该提篮包含两侧板及两支撑架，该两侧板各设有夹取部，该两支撑架分置于上、下两层，该两支撑架各具有两连接杆及连接于该两连接杆之间的一间隔杆，该些连接杆的两端分别连接于该两侧板；以及一载盘，该载盘的底部设有两凹沟，该载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，该载盘放置于下层的该支撑架上，该载盘底部的凹沟与下层的该支撑架的连接杆卡接配合。