放射源、リソグラフィ装置のための方法、およびデバイス製造方法

摘要

ＬＰＰ（レーザ生成プラズマ）またはＤＬＰ（デュアルレーザプラズマ）によって溶融金属燃料の小滴の流れからＥＵＶを生成するための放射源は、燃料の小滴の流れを提供するように配置された燃料小滴ジェネレータと、燃料の小滴の少なくともいくつかを気化させる少なくとも１つのレーザと、を有し、それによって放射が生成される。燃料小滴ジェネレータは、ノズルと、燃料供給ラインと、リザーバとを、リザーバから燃料供給ラインを通ってノズルから小滴の流れとして出る溶融金属燃料の流れを供給するように配置されたポンピングデバイスとともに有する。燃料小滴ジェネレータは、燃料供給ライン内に、使用中に溶融金属燃料を濾過するように配置された交換可能なフィルタアセンブリを有して、燃料の固体粒子不純物によるノズルの閉塞を抑止する。【選択図】図４