| 发明名称 |
Silsequioxane copolymer |
| 摘要 |
<p>Silsesquioxane polymers, silsesquioxane polymers in negative tone photo-patternable dielectric formulations, methods of forming structures using negative tone photo-patternable dielectric formulations containing silsesquioxane polymers, and structures made from silsesquioxane polymers.</p> |
| 申请公布号 |
GB2485283(B) |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
| 申请号 |
GB20110019451 |
申请日期 |
2010.08.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
ALSHAKIM NELSON;PHILLIP JOE BROCK;RATNAM SOORIYAKUMARAN;BLAKE DAVIS;ROBERT DENNIS MILLER;ROBERT DAVID ALLEN;QINGHUANG LIN |
| 分类号 |
C09D183/04;C08G77/04;C08L83/04;C09D183/14;H01L21/312 |
主分类号 |
C09D183/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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