一种新型MEMS MIC及其生产工艺

摘要

一种新型MEMS MIC，包括接线板，接线板上粘接有外壳，外壳与接线板之间设有MEMS片，MEMS片具有空腔的一侧粘接在外壳的内壁上，另一侧通过焊盘与接线板连接，所述外壳上与MEMS片的空腔相对应的位置开设有音孔，所述接线板上位于MEMS片一侧的位置连接有ASIC片。采用上述技术方案，用一体式的外壳替代了中间板和盖板，直接将MEMS片通过焊盘与接线板连接，同时不再用金线将MEMS片与ASIC片连接，焊盘高度几乎可以忽略不计，MEMS MIC的整体高度会降低，能够做到小型化、质量轻；音孔与MEMS片自带的腔相对应，MEMS片自带的腔为前腔，另外一个腔为背腔，背腔较大，前进音MEMS MIC可做到高信噪比。

主权项

一种新型MEMS MIC，包括接线板（1），接线板（1）上粘接有外壳（8），外壳（8）与接线板（1）之间设有MEMS片（2），其特征在于：MEMS片（2）具有空腔的一侧粘接在外壳（8）的内壁上，另一侧通过焊盘（10）与接线板（1）连接，所述外壳（8）上与MEMS片（2）的空腔相对应的位置开设有音孔（12），所述接线板（1）上位于MEMS片（2）一侧的位置连接有ASIC片（5）。