发明名称 |
磁记录介质用溅射靶及其制造方法 |
摘要 |
一种磁记录介质用溅射靶,其特征在于,富B相的平均颗粒面积为90μm<sup>2</sup>以下。一种磁记录介质用溅射靶的制造方法,其特征在于,对合金铸锭进行热处理后,进行至少包含一次以上冷轧的一次轧制,然后进行二次轧制,并对其进行机械加工从而制作靶。本发明得到了在磁记录介质用溅射靶中富B相的破裂少且漏磁通密度高的靶,由此解决如下课题:使溅射时的放电稳定,抑制以富B相的破裂为起点的电弧放电,从而抑制粉粒产生。 |
申请公布号 |
CN104170015A |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201380013280.3 |
申请日期 |
2013.03.01 |
申请人 |
吉坤日矿日石金属株式会社 |
发明人 |
荻野真一;中村祐一郎 |
分类号 |
G11B5/851(2006.01)I;B21B3/00(2006.01)I;C22C19/07(2006.01)I;C22F1/10(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C22F1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G11B5/851(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种磁记录介质用溅射靶,其特征在于,富B相的平均颗粒面积为90μm<sup>2</sup>以下。 |
地址 |
日本东京 |