可变分光元件

摘要

第1传感器（3₁）与第3传感器（3₃）、第2传感器（3₂）与第4传感器（3₄）被配置在以连接一对光学基板（2）的相对的面的重心的线为轴而对称的位置处，第1～第4致动器（4₁～4₄）分别配置在从一对光学基板（2）的相对的面的重心向第1～第4传感器（3₁～3₄）各自的中心方向延伸的线的线上，该可变分光元件具有控制部，该控制部根据第1～第4传感器（3₁～3₄）的信号计算一对光学基板（2）的相对的面的重心彼此之间的间隔（x），根据第1传感器（3₁）的信号和第3传感器（3₃）的信号计算移动的光学基板的相对的面和与连接重心的线垂直的面所成的第1角度（θ），根据第2传感器（3₂）的信号和第4传感器（3₄）的信号计算移动的光学基板的相对的面和与连接重心的线垂直的面所成的第2角度根据间隔（x）、角度（θ和）对第1～第4致动器（4₁～4₄）进行驱动，对间隔（x）、角度（θ和）进行FB控制和FF控制。

主权项

一种可变分光元件，其具有：一对光学基板，它们隔着间隔相对地配置；第1至第4静电电容传感器，它们各自具有分别配置于所述一对光学基板的相对的面上的一对电极部，检测各自的配置位置处的所述一对光学基板的相对的面彼此之间的面间隔；以及第1至第4致动器，它们使所述一对光学基板中的至少一方相对于另一方进行相对移动，改变所述一对光学基板的相对的面彼此之间的面间隔，该可变分光元件的特征在于，所述第1静电电容传感器和所述第3静电电容传感器被配置在以连接所述一对光学基板的相对的面各自的重心的线为轴而对称的位置处，所述第2静电电容传感器和所述第4静电电容传感器被配置在以连接所述一对光学基板的相对的面各自的重心的线为轴而对称的位置处，所述第1至第4致动器分别被配置在从所述一对光学基板的相对的面各自的重心向所述第1至第4静电电容传感器各自的中心方向延伸的线上，该可变分光元件具有控制部，该控制部根据所述第1至第4静电电容传感器的信号，计算所述一对光学基板的相对的面各自的重心彼此之间的间隔，根据所述第1静电电容传感器的信号和所述第3静电电容传感器的信号，计算与连接所述重心的线垂直的面和移动的所述光学基板的所述相对的面所成的第1角度，根据所述第2静电电容传感器的信号和所述第4静电电容传感器的信号，计算与连接所述重心的线垂直的面和移动的所述光学基板的所述相对的面所成的第2角度，根据所述重心彼此之间的间隔和所述第1角度，对所述第1和第3致动器进行驱动，根据所述重心彼此之间的间隔和所述第2角度，对所述第2和第4致动器进行驱动，对所述重心彼此之间的间隔、所述第1角度和所述第2角度进行反馈控制，并且对所述重心彼此之间的间隔、所述第1角度或所述第2角度中的至少一个进行前馈控制。