一种带相位光栅的超导单光子探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种带相位光栅的超导单光子探测器及其制备方法。该带相位光栅的超导单光子探测器在常规基于基于氮化铌的超导单光子探测器的纳米线区上设置有相位光栅。相位光栅的栅高为入射光波长π相位对应的厚度的奇数倍。在纳米线区上的相位光栅对光束产生干涉聚焦效果，氮化铌纳米线位于焦点位置，从而提高了氮化铌纳米线对光子的吸收效率。仿真结果表明，该带相位光栅的超导纳米线单光子探测器，在可见光和红外的多个频率段，均具有很高的探测效率，在850nm波长，光子的吸收效率高达72%。

主权项

一种带相位光栅的超导单光子探测器，其特征在于，在超导单光子探测器的纳米线区上设置有相位光栅；所述相位光栅的栅高为入射光波长π相位对应的厚度的奇数倍。