一种尾气回收系统

摘要

本实用新型提供一种尾气回收系统，包括屏蔽泵，屏蔽泵包括屏蔽泵本体和用于为屏蔽泵本体提供动力的屏蔽泵驱动装置，所述系统还包括用于向屏蔽泵驱动装置输送不含颗粒杂质的润滑液供给装置，润滑液供给装置与设置于屏蔽泵驱动装置的一端的屏蔽泵第一入口相连，屏蔽泵驱动装置能够利用润滑液供给装置输送的润滑液润滑并降温，并将所述润滑液从屏蔽泵驱动装置的另一端输送至屏蔽泵本体；屏蔽泵本体能够输出屏蔽泵驱动装置输送的润滑液，不再将反应尾气中的氯硅烷作为润滑介质输送至屏蔽泵驱动装置，从而避免了氯硅烷中含有的固体硅粉颗粒对轴承产生磨损，降低屏蔽泵故障发生率，延长屏蔽泵的使用寿命，提高屏蔽泵的可靠性。

主权项

一种尾气回收系统，包括屏蔽泵，屏蔽泵包括屏蔽泵本体和用于为屏蔽泵本体提供动力的屏蔽泵驱动装置，其特征在于，所述系统还包括用于向屏蔽泵驱动装置输送不含颗粒杂质的润滑液供给装置，润滑液供给装置与设置于屏蔽泵驱动装置的一端的屏蔽泵第一入口相连；屏蔽泵驱动装置能够利用润滑液供给装置输送的润滑液润滑并降温，并将所述润滑液从屏蔽泵驱动装置的另一端输送至屏蔽泵本体；屏蔽泵本体能够输出屏蔽泵驱动装置输送的润滑液。