发明名称 |
用于选择性移除沉积膜的多孔剥离层 |
摘要 |
多孔剥离层帮助从诸如半导体的表面移除膜。在图案化的多孔层之上施加膜,该层包括典型地比膜厚度大的开孔。然后从不想要有膜的区域移除多孔材料和膜。该多孔层可提供为浆液,干燥该浆液以打开孔隙;或者提供为在一范围内当施加热或溶剂时便会解离的临时性颗粒。可以由蚀刻剂移除该膜,所述蚀刻剂通过孔隙进入膜未桥接起固体部分之间的空间的地方,因此蚀刻剂会侵蚀膜的两个表面。 |
申请公布号 |
CN102460657B |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201080030559.9 |
申请日期 |
2010.05.07 |
申请人 |
1366科技公司 |
发明人 |
E.M.萨克斯;A.M.加博尔 |
分类号 |
H01L21/306(2006.01)I;H01L31/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/306(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
刘春元;卢江 |
主权项 |
一种只向光伏器件表面的特定区域提供膜的方法,该方法包括:a.提供表面;b.在该表面的不想要有膜的位置,提供多孔材料;c.在该表面上提供膜,包括已提供该多孔材料的位置和想要有膜的另一位置二者,该膜的厚度不大于该多孔材料的孔的大小;以及d.从该表面移除该多孔材料,并且移除任何已沉积在移除的多孔材料上的膜;藉此该光伏器件表面的已提供多孔材料的区域没有该膜,而其它区域提供有该膜。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |