Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat zur Detektion einer Drehrate

摘要

Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat zur Detektion einer Drehrate, wobei sich die Drehrate in eine sich entweder parallel zur Haupterstreckungsebene oder senkrecht zur Haupterstreckungsebene verlaufende Richtung erstreckt, wobei der Drehratensensor ein primäres Paar seismischer Massen und eine sekundäres Paar seismischer Massen umfasst, wobei das primäre Paar seismischer Massen eine erste Primärmasse und eine zweite Primärmasse aufweist und das sekundäre Paar seismischer Massen eine erste Sekundärmasse und eine zweite Sekundärmasse aufweist, wobei die erste Primärmasse und die zweite Primärmasse zueinander entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene des Drehratensensors verlaufenden primären Auslenkungsrichtung relativ zum Substrat bewegbar sind und die erste Sekundärmasse und die zweite Sekundärmasse entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene des Drehratensensors verlaufenden sekundären Auslenkungsrichtung relativ zum Substrat bewegbar sind, wobei einerseits die erste und zweite Primärmasse und andererseits die erste und die zweite Sekundärmasse entweder antiparallel oder parallel zueinander gemäß der jeweiligen Auslenkungsrichtung bewegbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich die primäre Auslenkungsrichtung im Wesentlichen senkrecht zur sekundären Auslenkungsrichtung erstreckt und wobei das primäre Paar seismischer Massen und/oder das sekundäre Paar seismischer Massen so antreibbar sind, dass bei einer Rotation des Drehratensensor die Corioliskraft zur Auslenkung der ersten Primärmasse und der zweiten Primärmasse und/oder der ersten Sekundärmasse und der zweiten Sekundärmasse führt.