发明名称 СПОСОБ ОДНОВРЕМЕННОГО ФОРМИРОВАНИЯ НА ДВУХСТОРОННИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ТОНКИХ ПЛЕНОК YBaCuO
摘要 Способ формирования сверхпроводящих пленочных структур из материала YBaCuO с двух сторон подложки методом лазерной абляции, отличающийся тем, что вращение подложки осуществляют так, что каждая сторона подложки поочередно обращена к мишени YBaCuOв течение времени τ=5÷7 с, при расстоянии до мишени L=25÷30 мм.
申请公布号 RU2013120788(A) 申请公布日期 2014.11.20
申请号 RU20130120788 申请日期 2013.05.06
申请人 Общество с ограниченной ответственностью "Инженерные решения" 发明人 Сычев Сергей Александрович;Серопян Геннадий Михайлович;Петров Александр Геннадьевич;Федосов Денис Викторович
分类号 H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
地址