活性層を含む水素センサ及び水素センサの製造方法

摘要

希土類から選択された第１の元素、白金族金属（ＰＧＭ）から選択される第２の元素、及びアルカリ土類金属から選択される第３の元素を含む材料の活性層が蒸着された基板（Ｓ）を含む、水素センサ。