Vorrichtung zur Teilchenstrahlbearbeitung mit einem Massenspektrometer

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Teilchenstrahlbearbeitung eines Werkstücks (3), umfassend: eine Teilchenstrahlkanone (1) zur Erzeugung eines auf das Werkstück (3) gerichteten Teilchenstrahls (2), ein Massenspektrometer (7) zur Bestimmung von massenspektrometrischen Messdaten über bei der Teilchenstrahlbearbeitung mit dem Teilchenstrahl (1) vom Werkstück (3) abgetragene Sekundärteilchen, sowie ein Steuerungssystem (9, 14) zur Beeinflussung mindestens eines Parameters der Teilchenstrahlbearbeitung in Abhängigkeit von den massenspektrometrischen Messdaten.