发明名称 |
正型感光性树脂组合物、分隔壁和光学元件 |
摘要 |
本发明提供正型感光性树脂组合物、以及提供使用该树脂组合物形成的分隔壁、和光学元件,所述正型感光性树脂组合物能够制造拒墨性优异、即使经过紫外线/臭氧照射处理拒墨性也优异、且点中残留物少的分隔壁,所述正型感光性树脂组合物具有充分的储藏稳定性。正型感光性树脂组合物、使用该树脂组合物形成的分隔壁和光学元件,所述正型感光性树脂组合物的特征在于,其为包含碱可溶性树脂(A)、光敏剂(B)和拒墨剂(C)的正型感光性树脂组合物,前述拒墨剂(C)由包含含氟水解性硅烷化合物的混合物的部分水解缩合物形成,前述水解性硅烷化合物中的氟原子的含有比率为10~55质量%。 |
申请公布号 |
CN104160336A |
申请公布日期 |
2014.11.19 |
申请号 |
CN201380013041.8 |
申请日期 |
2013.03.07 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
川岛正行;高桥秀幸;古川丰 |
分类号 |
G03F7/075(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,其为包含碱可溶性树脂(A)、光敏剂(B)和拒墨剂(C)的正型感光性树脂组合物,所述拒墨剂(C)由包含下式(c‑1)所示的水解性硅烷化合物、和下式(c‑2)所示的水解性硅烷化合物的混合物的部分水解缩合物形成,所述拒墨剂(C)中的氟原子含有率为10~55质量%,R<sup>f</sup>‑Q<sup>1</sup>‑SiX<sup>1</sup><sub>3</sub> …(c‑1)R<sup>H1</sup><sub>p</sub>‑SiX<sup>2</sup><sub>(4‑p)</sub> …(c‑2)式(c‑1)和(c‑2)中的符号如以下所述:R<sup>f</sup>:碳原子数1~6的全氟烷基、或R<sup>f1</sup>OR<sup>f2</sup>‑所示的碳原子数2~40的1价基团,其中,R<sup>f1</sup>为碳原子数1~6的全氟烷基,R<sup>f2</sup>为在碳‑碳原子间可以具有醚性氧原子的全氟亚烷基,Q<sup>1</sup>:碳原子数1~10的、不含氟原子的2价有机基团,R<sup>H1</sup>:碳原子数1~6的1价烃基,X<sup>1</sup>和X<sup>2</sup>:水解性基团,p:0、1或2,其中,式(c‑1)中的3个X<sup>1</sup>、式(c‑2)中的(4‑p)个X<sup>2</sup>、和p个R<sup>H1</sup>可以分别互不相同也可以相同。 |
地址 |
日本东京都 |