气体供给装置

摘要

本发明提供一种能够在稳定的状态下将压缩气体减压而进行供给，且在经济性、安全性上优异的气体供给装置。在利用减压单元（压力调整器（21）、（31））将从压缩气体供给源（高压气体容器（11））供给的气体减压而进行供给的气体供给装置中，在上述减压单元的气体流向上游侧设置使要被导入到该减压单元内的气体与从温水供给源（温水循环单元（15））供给的温水热交换而加温上述气体的换热器（22）、（32），并且在上述减压单元中设置用于利用上述温水的一部分加温该减压单元的温水流路（53）。

主权项

一种气体供给装置，其利用减压单元将从压缩气体供给源供给的气体减压而进行供给，其中，在所述减压单元的气体流向上游侧设置使要被导入到该减压单元内的气体与从温水供给源供给的温水热交换而加温所述气体的换热器，并且在所述减压单元中设置用于利用所述温水的一部分加温该减压单元的温水流路，使得该温水流路包围所述减压单元的中央的气体流路，在所述温水流路的一端设有温水导入口，在另一端设有温水导出口，从温水导入口流入温水流路内的温水通过形成在所述气体流路的周围的入口侧环状流路，从该入口侧环状流路起，通过设在所述减压单元的阀箱部分的周围的阀箱外周流路，流入出口侧环状流路，从所述温水导出口导出。