主权项 |
白光干涉透镜中心厚度测量系统,其特征在于,包括超连续谱光源(1)、光电探测器(2)、1:1光纤耦合器(3)、测量臂(4)、参考臂(5)、第一光纤(6)、第二光纤(7)和数据处理单元;所述测量臂(4)包括第三光纤(8)和调焦镜(10);所述参考臂(5)包括第四光纤(9)、自聚焦透镜(12)、扫描角反射镜(13)、平面反射镜(14)、位移机构(15)和测长干涉仪系统(16);所述调焦镜(10)和被测透镜(11)同光轴;所述位移机构(15)包括位移导轨(152)和可以在位移导轨(152)上作扫描运动的移动支架(151),所述扫描角反射镜(13)固定在移动支架(151)的一侧,所述测长干涉仪系统(16)的扫描角反射镜(161)固定在移动支架(151)的另一侧,扫描角反射镜(13)的光轴与测长干涉仪系统(16)的光轴平行,移动支架(151)沿扫描角反射镜(13)的光轴方向运动,测长干涉仪系统(16)测量移动支架(151)的位移量,并将位移量传输至数据处理单元;所述超连续谱光源(1)发射的光经第一光纤(6)传输至1:1光纤耦合器(3),分成两束,一束经第三光纤(8)入射调焦镜(10),然后经调焦镜(10)入射被测透镜(11),再经被测透镜(11)的前后表面依次反射后,沿原路返回1:1光纤耦合器(3),另一束经第四光纤(9)入射自聚焦透镜(12),然后经自聚焦透镜(12)入射扫描角反射镜(13),再经扫描角反射镜(13)反射至平面反射镜(14),又经平面反射镜(14)反射后沿原路返回1:1光纤耦合器(3),测量臂(4)的出射光和参考臂(5)的出射光经1:1光纤耦合器(3)耦合进入第二光纤(7)并产生干涉光信号,光电探测器(2)接收来自第二光纤(7)的干涉光信号,并将干涉光信号转换成电信号后传输至数据处理单元,数据处理单元对干涉光信号进行处理,结合接收的测长干涉仪系统(16)测量的移动支架(151)的位移量,得到极大干涉光信号中心位置对应的移动支架(151)的位移量,并根据该位移量计算被测透镜(11)的中心厚度;所述自聚焦透镜(12)入射扫描角反射镜(13)的光路和扫描角反射镜(13)入射平面反射镜(14)的光路平行。 |