采用码尺的直读式光电准直测角仪

摘要

采用码尺的直读式光电准直测角仪属于光电检测技术领域。现有技术人工读数易造成操作者疲劳，也存在人为误差，另外，1′的测量精度也比较低。在本发明中，光源、半反半透镜、准直透镜依次光学同轴排列，在半反半透镜的像的反射光路上安放屏幕，其特征在于，绝对式码尺位于光源、半反半透镜之间，并且处在准直透镜的焦平面上；所述绝对式码尺上分布若干条彼此平行的码道，第一条码道为精码道，其余为粗码道，各条码道通光和不通光组合形成的编码具有单值函数特征；屏幕上有一个狭缝，在狭缝后面沿狭缝排布一组光敏器件；所述一组光敏器件与A/D转换器相连，A/D转换器再与计算机相连。本发明无需人工读数，用于测量光学面面倾角误差，测量精度0.1″。

主权项

一种采用码尺的直读式光电准直测角仪，光源(1)、半反半透镜(4)、准直透镜(5)依次光学同轴排列，在半反半透镜(4)的像的反射光路上安放屏幕(8)，其特征在于，绝对式码尺(11)位于光源(1)、半反半透镜(4)之间，并且处在准直透镜(5)的焦平面上；所述绝对式码尺(11)上分布若干条彼此平行的码道，第一条码道为精码道，其余为粗码道，各条码道通光和不通光组合形成的编码具有单值函数特征；屏幕(8)上有一个狭缝(12)，在狭缝(12)后面沿狭缝(12)排布一组光敏器件(13)；所述一组光敏器件(13)与A/D转换器相连，A/D转换器再与计算机相连。