一种二维自标定标记点检测对准系统

摘要

一种二维自标定标记点检测对准系统，包括零位信号读取仪，二维工作台，光栅尺辅助标定板，读数头检测部分，测量基准架；光栅尺辅助标定板包括X、Y方向带有零位标记点的光栅尺；读数头检测部分包括光栅尺读数头及安装支架；该对准系统基于光栅尺检测对准原理以及零位信号检测原理实现标记点对准。读数头通过检测光栅尺辅助标定板上零位标记点信号，将信号传输给零位信号读取仪，同时二维工作台记录自身的位置坐标并将信号传输给零位信号读取仪，获得零位标记点位置坐标。本实用新型能够用于二维自标定技术中，实现纳米级分辨率及对准精度；信号读出延时小，能应用于工作台动态、高速标定；整体结构相对简单，性价比高，对环境不敏感。

主权项

一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：包括零位信号读取仪(1)、光栅尺辅助标定板(3)、读数头检测部分(4)和测量基准架(5)；所述光栅尺辅助标定板(3)设有X方向槽道(33)、Y方向槽道(34)、标有零位标记点的X方向光栅尺(31)和标有零位标记点的Y方向光栅尺(32)；标有零位标记点的X方向光栅尺(31)和标有零位标记点的Y方向光栅尺(32)分别安装在X方向槽道(33)和Y方向槽道(34)内；同向槽道间相互平行且间距相等；所述读数头检测部分(4)包括X方向第一光栅尺读数头(41)和Y方向第一光栅尺读数头(43)；所述零位信号读取仪(1)与二维工作台(2)通过信号线相互连接；所述光栅尺辅助标定板(3)放置于二维工作台(2)上，标定板的三个角分别由第一限位块(37)，第二限位块(38)，第三限位块(39)固定于二维工作台(2)上，标定板第四个角的两边分别由安装在二维工作台(2)上的第一基准条(35)和第二基准条(36)固定；所述读数头检测部分(4)的X方向第一光栅尺读数头(41)通过第一安装支架(42)安装在测量基准架(5)X方向一侧的面上；Y方向第一光栅尺读数头(43)通过第二安装支架(44)安装在测量基准架(5)Y方向一侧的面上；所述测量基准架(5)安装在二维工作台(2)的龙门架上。