摘要 |
Procedimiento para calibrar la energía de impulso de un dispositivo láser que proporciona una radiación láser de trabajo pulsada, llevándose a cabo durante el procedimiento, mediante la radiación de láser de trabajo, varias ablaciones de prueba, en particular ablaciones de prueba de impulso múltiple, en uno o varios objetos de prueba con una energía de impulso diferente V, midiéndose además la profundidad de ablación de cada una de las ablaciones de prueba y determinándose, a continuación, una energía de impulso teórica correspondiente, sobre la base de las profundidades de ablación medidas y de una profundidad de ablación teórica predeterminada, y ajustándose en el dispositivo láser caracterizado por que, las profundidades de ablación se miden mediante un dispositivo de medición interferométrico de óptica de coherencia, por que las profundidades de ablación se miden mediante un rayo de medición del dispositivo de medición que discurre a lo largo de la dirección de la radiación de láser de trabajo y por que se llevan a cabo varias ablaciones de prueba en el mismo objeto de prueba y éste es movido, entre las ablaciones de prueba consecutivas, con respecto al dispositivo de medición, siendo dispuestas las ablaciones de prueba a una distancia radial del centro del disco de un disco de prueba utilizado como objeto de prueba y siendo girado el disco de prueba según un ángulo de giro predeterminado entre las ablaciones de prueba consecutivas |