| 摘要 |
本発明は、リソグラフィ装置又は検査装置のための除振モジュール（１０１）に関する。モジュールは、支持フレーム（１０２）と、中間本体（１０３）と、リソグラフィ装置を収容するための支持本体（１０４）とを具備する。中間本体は、少なくとも１つのばね部材によって支持フレームに接続され、中間本体はぶら下がった本体である。支持本体は、少なくとも１つの振り子ロッド（１０８）によって中間本体に接続され、支持本体はぶら下がった本体である。本発明は、さらに、このような除振モジュールを具備する基板処理システムに関する。 |
