慣性センサの電磁干渉に対するロバスト性を得るためのスキーム

摘要

電磁干渉に対して耐性のある容量センサシステム及び方法が開示される。システムは、容量性コア、反転入力及び非反転入力を有する差動増幅器、容量性パス及びチョッピングシステムを含む。コアは、可変キャパシタに結合された入力及び出力、並びに可変キャパシタを結合する共通ノードを含むことができる。容量性パスはコア出力を増幅器の入力に結合する。チョッピングシステムがハイであるとき、ある極性の電圧がコア入力に印加され、第１のコア出力が反転入力に結合され、第２のコア出力が非反転入力に結合される。チョッピングシステムがローであるとき、逆極性の電圧がコア入力に印加され、増幅器の入力に対するコア出力の結合が切り替えられる。容量性パスはボンドワイヤを含むことができる。チョッピングシステムは、関心のある周波数帯域から離れてノイズをスミアし、又は広い周波数範囲にわたってノイズを実質的に均等にスミアする周波数でハイとローとの間で変化させることができる。