发明名称 |
バリア層を有する細長い基板本体に結合した研磨粒子を含む研磨物品及びその形成方法 |
摘要 |
コア及び障壁層を有する細長い部材の形態で基板を含む研磨物品は、コアの周囲面に直接接触する。障壁層は本質的にスズから構成される。接着層は、細長い基板を覆い、研磨粒子はボンディグ層中に固定されている。【選択図】図2A |
申请公布号 |
JP2014530120(A) |
申请公布日期 |
2014.11.17 |
申请号 |
JP20140532108 |
申请日期 |
2012.09.26 |
申请人 |
サンーゴバンアブレイシブズ,インコーポレイティド;サン−ゴバンアブラジフ |
发明人 |
ポール・ダブリュ・レーリ;インギャング・ティアン;アラップ・ケイ・カウンド |
分类号 |
B24D11/00;B24D3/00;B24D3/06 |
主分类号 |
B24D11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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