| 摘要 |
本发明系描述藉由来自一靶材材料的回馈以增强来自一极紫外线光源的功率之技术,该靶材材料在进入一靶材位置之前已被修改成一空间性延伸的靶材分布或经扩大靶材。因为供回馈发生的路径之几何结构诸如往返长度及方向可随时间而改变,或空间性延伸的靶材分布之形状可能未提供一够平顺的反射系数,来自空间性延伸的靶材分布之回馈系提供一非共振光学腔穴。然而,若克服了上述几何及物理拘束,则来自空间性延伸的靶材分布之回馈系可能提供一共振且同调的光学腔穴。在任一实例中,可利用从一非振荡器增益媒体所生成之自发性发射的光以产生回馈。 |
