晶片式薄膜哲尼克相位板及其应用;ON-CHIP THIN FILM ZERNIKE PHASE PLATE AND APPLICATIONS THEREOF

摘要

本发明提供一种可释出电荷的晶片式薄膜相位板,其包含一具有一或多个开口的晶片基板;以及一附着于该晶片基板之上表面的薄膜层。本发明亦提供一种使用TEM来观察有机材料的方法,其系使用一前文所述在TEM系统中的晶片式薄膜相位板来进行。