离子源;AN ION SOURCE

摘要

在一实施例中,一离子源包括一弧形腔室以及一发射器,发射器具有一配置于弧形腔室内的表面,其中发射器用以产生一电浆于弧形腔室内。离子源更包括一反射极以及一中空阴极,其中反射极具有一位于发射器表面对面的反射极表面,中空阴极耦合至反射极且用以提供一进料至弧形腔室内。