发明名称 |
β-Ga2O3系单晶的成长方法 |
摘要 |
本发明的问题在于提供一种β-Ga2O3系单晶的成长方法,其可使结晶构造的偏差较小的高品质β-Ga2O3系单晶朝b轴方向成长。为了解决此问题,于一实施形态中,提供一种β-Ga2O3系单晶的成长方法,其包括:使用晶种,并使添加有Sn之平板状β-Ga2O3系单晶朝b轴方向成长之步骤。 |
申请公布号 |
TW201443301 |
申请公布日期 |
2014.11.16 |
申请号 |
TW103112566 |
申请日期 |
2014.04.03 |
申请人 |
田村制作所股份有限公司 |
发明人 |
渡边信也;饭塚和幸;土井冈庆;松原春香;增井建和 |
分类号 |
C30B29/16(2006.01);C30B15/04(2006.01);C30B15/34(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/16(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
主权项 |
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地址 |
日本 |