发明名称 β-Ga2O3系单晶的成长方法
摘要 本发明的问题在于提供一种β-Ga2O3系单晶的成长方法,其可使结晶构造的偏差较小的高品质β-Ga2O3系单晶朝b轴方向成长。为了解决此问题,于一实施形态中,提供一种β-Ga2O3系单晶的成长方法,其包括:使用晶种,并使添加有Sn之平板状β-Ga2O3系单晶朝b轴方向成长之步骤。
申请公布号 TW201443301 申请公布日期 2014.11.16
申请号 TW103112566 申请日期 2014.04.03
申请人 田村制作所股份有限公司 发明人 渡边信也;饭塚和幸;土井冈庆;松原春香;增井建和
分类号 C30B29/16(2006.01);C30B15/04(2006.01);C30B15/34(2006.01) 主分类号 C30B29/16(2006.01)
代理机构 代理人 <name>蔡坤财</name><name>李世章</name>
主权项
地址 日本