| 发明名称 |
用于对齐生物晶片的方法;METHOD FOR ALIGNING A BIOCHIP |
| 摘要 |
一种对齐一个半导体晶片的方法系包含：形成具有其中包含至少一个光感应部位(photoesite)的一个光致动电路的一个半导体晶片，相对一个装置来定位该半导体晶片，以及对所定位的该半导体晶片进行照射。该方法系进一步包含：以一个射频(RF)电路基于对该至少一个光感应部位的照射来产生一个射频讯号，以及基于所产生的该射频讯号以相对该装置来决定该光感应部位的位置。 |
| 申请公布号 |
TW201443436 |
申请公布日期 |
2014.11.16 |
| 申请号 |
TW103106641 |
申请日期 |
2014.02.27 |
| 申请人 |
罗伯特博斯奇股份有限公司 |
发明人 |
朗格 克里斯多福;哈喜碧 阿将;卡夫西 山姆 |
| 分类号 |
G01N33/48(2006.01);H01L23/58(2006.01);H01L25/065(2006.01) |
主分类号 |
G01N33/48(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
德国 |
