双面研磨装置用载具及晶圆的双面研磨方法

摘要

本发明是一种双面研磨装置用载具，在双面研磨装置中，被配置于各自贴附有研磨布之上磨盘和下磨盘之间，该双面研磨装置用载具形成有保持孔，且该保持孔用以在研磨时保持已夹在前述上磨盘和下磨盘之间的晶圆，并且，该双面研磨装置用载具的特征在于：该载具的上下的主要表面部是由β型钛合金所构成，且该β型钛合金是使纯钛中含有0.5重量%以上的β稳定元素而成。藉此，可提供一种双面研磨用载具，其耐磨耗性优良，且可降低成本。