一种CCD器件量子效率测量装置及方法

摘要

本发明提供一种CCD器件量子效率测量装置及方法，其中装置包括CCD器件绝对量子效率测量装置及CCD器件相对量子效率测量装置；所述CCD器件绝对量子效率测量装置，用于测量CCD器件在632.8nm波长点上绝对量子效率；所述CCD器件相对量子效率测量装置，用于测量CCD器件在300nm～1100nm波长范围内的相对量子效率。本发明采用632.8nm激光器将光经过稳功率系统后打入到积分球内部进行绝对定标，而且可根据不同CCD器件选用不同输出功率的激光器，就没有光功率较小的问题，也没有光损失，并且标准探测器在632.8nm波长点上是直接溯源到低温辐射计，这样就减少中间环节，提高了测量不确定度。

主权项

一种CCD器件量子效率测量装置，其特征在于，包括CCD器件绝对量子效率测量装置及CCD器件相对量子效率测量装置；所述CCD器件绝对量子效率测量装置，用于测量CCD器件632.8nm波长点上绝对量子效率；所述CCD器件相对量子效率测量装置，用于测量CCD器件300nm～1100nm波长范围内的相对量子效率。