臭氧产生机构以及臭氧产生方法

摘要

本发明的臭氧产生机构具备具有形成放电空间(305)的放电电极(30)的臭氧产生装置(3)、气体供给装置(1)、向放电电极(30)供给功率的电源装置、调节放电电极(30)的温度的温度调节装置(7)、控制臭氧产生装置(3)的运转的控制部(4)、检测臭氧产生装置(3)中的臭氧产生参数(Di)的检测部(25)，控制部(4)根据从检测部(25)输出的臭氧产生参数(Di)的值，从通常的运转模式向洁净化运转模式转移，在该洁净化运转模式中，联合控制温度调节装置(7)和气体供给装置(1)或者温度调节装置(7)和电源装置，使放电电极(30)的温度上升到使五氧化二氮气化的温度，并使在放电空间(305)中的臭氧的产生继续的状态下，将放电电极(30)表面以及放电空间(305)洁净化。

主权项

一种臭氧产生机构，其特征在于，具备：臭氧产生装置，其具有被相向配置并形成放电空间的放电电极；气体供给装置，其向前述放电空间供给作为用于产生臭氧的原料气体的含有氧的气体；电源装置，其向前述放电电极供给用于放电的功率；温度调节装置，其调节前述放电电极的温度；控制部，其控制前述气体供给装置、前述电源装置和前述温度调节装置，并控制前述臭氧产生装置的运转；和检测部，其检测前述臭氧产生装置中的臭氧产生参数，前述控制部根据从前述检测部输出的臭氧产生参数的值，控制前述臭氧产生装置的运转，以便从通常的运转模式向洁净化运转模式转换，在所述洁净化运转模式中，联合控制前述温度调节装置和前述气体供给装置或者前述温度调节装置和前述电源装置，使前述放电电极的温度上升到五氧化二氮气化的温度，在使臭氧在前述放电空间中的产生继续的状态下，将前述放电电极表面以及前述放电空间洁净化。