| 发明名称 | 压印平版印刷术工具的就地清洁 | ||
| 摘要 | 压印平版印刷术系统可提供用于固化定位在模板和基底之间的材料的能量源。此外，能量源和/或附加的能量源可用于从模板和/或基底中清除污染物。 | ||
| 申请公布号 | CN102171611B | 申请公布日期 | 2014.11.12 |
| 申请号 | CN200980139749.1 | 申请日期 | 2009.09.23 |
| 申请人 | 分子制模股份有限公司 | 发明人 | G·施米德;I·M·麦克麦基;崔炳镇;D·J·雷斯尼克 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 茅翊忞 |
| 主权项 | 一种清洁压印平版印刷术模板的方法，该方法包括：用来自真空紫外线辐射源的真空紫外线来辐照模板的表面，同时，所述模板仍布置在压印平版印刷术系统内，其特征在于，所述真空紫外线辐射源位于腔室内，并且所述腔室用不吸收UV的气体进行净化。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯州 | ||