发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体器件。该半导体器件包括:一硅衬底;一初始缓冲层,布置在硅衬底上并包括氮化铝(AlN),以及一器件层,布置在初始缓冲层上并包括一半导体化合物,其中,在初始缓冲层和硅衬底之间不存在SiN,并且硅衬底的硅晶格直接接触初始缓冲层的晶格。
申请公布号 CN104143567A 申请公布日期 2014.11.12
申请号 CN201410195598.4 申请日期 2014.05.09
申请人 LG伊诺特有限公司 发明人 张正训
分类号 H01L29/06(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L29/06(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 张浴月;李玉锁
主权项 一种半导体器件,包括:硅衬底;初始缓冲层,布置在所述硅衬底上并包括氮化铝AlN;以及器件层,布置在所述初始缓冲层上并包括半导体化合物,其中,在所述初始缓冲层和所述硅衬底之间不存在SiN,并且所述硅衬底的硅晶格直接接触所述初始缓冲层的晶格。
地址 韩国首尔