一种太阳能电池的双面扩散方法

摘要

本发明的一种太阳能电池的双面扩散方法，包括：将两个晶圆的背面相对贴合放置在晶舟中；对两个晶圆的正面进行第一掺杂元素扩散，在晶圆正面形成第一扩散层，同时在晶圆背面和边缘形成第一杂质层；去除第一杂质层；将两个晶圆的正面相对贴合放置在晶舟中；对两个晶圆的背面进行第二掺杂元素扩散，在晶圆背面形成第二扩散层，同时在晶圆正面和边缘形成第二杂质层；去除第二杂质层。本发明的双面扩散方法，不仅与现有工艺设备相兼容，有利于实现工业化大规模生产；并且，相比于现有的工艺，无需另外增加晶圆边缘刻蚀的步骤，简化了制备工艺，进一步降低了生产成本。

主权项

一种太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，包括：步骤S01：将两个晶圆的背面相对贴合；步骤S02：对两个所述晶圆的正面进行第一掺杂元素扩散，在每个所述晶圆正面形成第一扩散层，同时在所述晶圆背面和边缘形成第一杂质层；步骤S03：将两个所述晶圆分开，并采用湿法刻蚀去除每个所述晶圆背面和边缘的第一杂质层；步骤S04：将两个所述晶圆的正面相对贴合；步骤S05：对两个所述晶圆的背面进行第二掺杂元素扩散，在每个所述晶圆背面形成第二扩散层，同时在所述晶圆正面和边缘形成第二杂质层；步骤S06：将两个所述晶圆分开，并采用湿法刻蚀去除每个所述晶圆正面和边缘的第二杂质层。